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广州恒雅空调工程有限公司

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电子厂房净化空调工程改造设计

2015/9/10 12:04:15  来源:互联网转载  发布者:小A

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本文在某电子厂房原有的净化空调工程基础上,对工艺布置和净化空调系统提出改造方案,并对方案设计进行了简单的介绍。

  1、原有净化空调工程情况

  1.1 简况

  该厂房位于开发区,建于1995年,主要生产半导体芯片。系统总面积1510m2, 其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,其余均为万级。

  1.2 系统存在的主要问题

  (1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构,

  其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度不能达到要求;

  (2)非净化区域的扩散炉,经测定表面温度可达50℃,散热量非常大,在原有设计中存在空调送风量不足问题,造成扩散炉周围区域的温度高达37℃,并且回风循环使用,不利于节能;

  (3)酸洗槽的排风量不足,平均断面风速为0.1m/s,酸性物质存留在室内环境中,不能有效地排出,严重影响室内的卫生和生产环境;

  (4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m/s的要求,需要更换循环风机。

  2、改造方案

  针对系统运行中出现的的以上情况,经与甲方协商,提出了改造方案。

  2.1 工艺布置改造方案

  2.2 净化空调系统改造方案

  3、改造后的使用效果

  系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求,在动态下检测,厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。

  4、结论

  本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用净化及非净化区空调系统,不符合“规范”的要求;酸洗槽排风量不足;护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标;改造后将生产工艺布局做了适当调整,按照规范的要求,对净化区及非净化区单独设置空调系统;加大酸洗槽排风量,同时采用了热排风回收装置,对补充新风进行预热(预冷),节约能源,降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中,对于生产环境有要求的工艺,既应该按照生产过程布置工艺,同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制,保证生产环境的可靠性。

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